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    高溫等離子體PFC氣體分解

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    產品詳情

    PFC氣體全稱全氟化合物|(PRE FLUORO CARBON),常見的有CF4、C2F5、CHF3等氣體。PFC的地球溫室效應系數(global warming potential,縮寫GWP)比CO2要高數千倍甚至數萬倍(如CF4壽命50000年),因此,相對少量的PFC排入大氣,也會產生很大累計效果,對地球溫室效應具有長期深遠影響,PFC氣體在排入大氣前需要進行無害化分解處理。


    PFC產生車間.jpg  電路板制作.jpg  高溫等離子炬.jpg


    現代工業生產中,特別是半導體產業和LCD液晶面板產業中,PFC氣體由于具有相對較低的價格、無毒、使用方便、效果好等優勢,被廣泛用于干法蝕刻工藝氣體和化學氣相沉積(chemical vapor de-position CVD)裝置洗凈等工程中。

    高溫等離子炬分解法對PFC氣體高溫分解轉換成低分子量和親水性極性化合物,如CO2、HF、COF2,接著進行水霧吸收中和工藝進一步清除有害氣體。整個工藝過程不需要特別燃料,燃燒效率高,沒有多余副產物氣體生成,體積小,利于增設在現有設備上,價格相對低廉,是PFC氣體無害化處理最理想的方法。

    高溫等離子體PFC氣體分解

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    高溫等離子炬分解法對PFC氣體高溫分解轉換成低分子量和親水性極性化合物,可復合水霧吸收中和工藝進一步清除有害氣體。
    18814805858
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    PFC氣體全稱全氟化合物|(PRE FLUORO CARBON),常見的有CF4、C2F5、CHF3等氣體。PFC的地球溫室效應系數(global warming potential,縮寫GWP)比CO2要高數千倍甚至數萬倍(如CF4壽命50000年),因此,相對少量的PFC排入大氣,也會產生很大累計效果,對地球溫室效應具有長期深遠影響,PFC氣體在排入大氣前需要進行無害化分解處理。


    PFC產生車間.jpg  電路板制作.jpg  高溫等離子炬.jpg


    現代工業生產中,特別是半導體產業和LCD液晶面板產業中,PFC氣體由于具有相對較低的價格、無毒、使用方便、效果好等優勢,被廣泛用于干法蝕刻工藝氣體和化學氣相沉積(chemical vapor de-position CVD)裝置洗凈等工程中。

    高溫等離子炬分解法對PFC氣體高溫分解轉換成低分子量和親水性極性化合物,如CO2、HF、COF2,接著進行水霧吸收中和工藝進一步清除有害氣體。整個工藝過程不需要特別燃料,燃燒效率高,沒有多余副產物氣體生成,體積小,利于增設在現有設備上,價格相對低廉,是PFC氣體無害化處理最理想的方法。

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